多晶硅西门子生产技术

多晶硅生产中采用的主要生产太阳能发电技术是西门子技术，即以三氯氢硅为主要还原气体，在西门子钟罩式反应器中进行还原反应，多晶硅沉积在被加热的倒U型硅芯上。硅芯被通电加热到1100°C左右。这个方法最早由西门子公司研发出来，因而通常被称为西门子方法。以后西门子反应器有过许多改进，其中主要的是将石英钟罩改进为不锈钢内壁，使得反应炉尺寸越来越大，反应压力越来越高。 　　

现代多晶硅生产系统是一个庞大的化工系统，涉及许多化工原料，中间产物和最终产物。对于一个完整循环的多晶硅生产系统，它包括三氯氢硅(TCS)原料的合成，三氯氢硅的精馏提纯，三氯氢硅的还原,反应尾气的干法回收与分离，四氯化硅 (STC)的氢化，等等过程。 　　

三氯氧桂的合成 　　

三氯氢硅由金属硅粉和氯化氢反应生成，如下反应式所示： 　　
Si + 3HC1 = SiHCl3 + H2 　　

该反应在沸腾炉中进行，反应温度为280～320°C。此反应为放热反应，大概50 kcal/moU反应温度的控制很重要，温度增高，四氯化硅的生成量不断变大，当温度超过350°C后，生成大量的四氯化硅, 　　

如下面反应式： 　　
Si + 4HC1 = SiCl4 +2H2 　　

如果反应温度过低(低于280°C)，将生成更多的SiH2Cl2 ： 　　
Si + 4HC1 = SiH2Cl2 　

在沸腾炉中的反应还会产生各种氯硅烷，Fe，C，P，B等的聚卤化合物，CaCl2， AgCl, MnCl2，A1C13，ZnCl2，TiCl4，CrCl3，PbCl2, FeCl3, NiCl3，BC13，CC14，CuCl2， PCl3，InCl3，等等。 　　

太阳能发电西门子技术以三氯氢硅为主要还原气体，在西门子钟罩式反应器中进行还原反应，多晶硅沉积在被加热的倒U型硅芯上，硅芯被通电加热到1100°C左右。西门子技术的名称由来是因为这个方法是最早由西门子公司研发出来的。

更新时间：2015-6-27 8:47:31
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