多晶硅生产副产物回收利用

电子产业的兴起促进了太阳能发电高纯多晶硅生产技术的发展。半导体工业对太阳能发电多晶硅中杂质白勺要求是在 ppba(parts per billion atoms)和 ppta(parts per trillion atoms)的水平。这种高纯多晶硅仅仅依靠冶炼的方法是得不到的。最有效的提纯方法是使用硅的卤化物，如硅烷(SiH4)，氯硅烷(SiHXU等等，通过对硅的卤化物的提纯，再将高纯的卤化硅还原成高纯的硅。在这种化学提纯的方法中，会产生许多中间产物和副产物，因而副产物的循环利用也是规模化多晶硅生产的重要环节。这种从低纯硅到高纯硅的化学提纯过程。

太阳能级多晶硅的纯度要求虽然可以略松于半导体级多晶硅，但其生产制造的主流方法与半导体多晶硅基本一样。因此，下面制造技术的介绍仅称作多晶硅生产技术，不再冠以“太阳能级”这个名称。

太阳能发电多晶硅的生产技术主要是根据所选用的还原气体及还原所采用的方法来区分的。热解气体或还原气体最常用的是硅烷和氯硅烷。氯硅烷中，常用的有三氯氢硅(SiHCl3)。还原方法有西门子还原炉法和流化床反应器法。这两种主要的还原气体和两种主要的反应器可以相互搭配，构成目前被商业化应用的四种多晶硅主要生产技术。

如下表所示：

在这四种方法中，最广泛应用的技术是用三氯氢硅在西门子还原炉生产多晶硅的技术，也是被业界广泛称作西门子工艺(或改进后的改良西门子工艺）。西门子生产技术在80%的多晶硅生产线中应用，是目前多晶硅的主要生产技术.

除了硅烷和三氯氢硅这两种常用的还原气体外，四氯化硅(SiCl4)和二氯二氢硅(SiH2Cl2)也在多晶硅的生产中曾经被作为主要的还原气体。

副产物回收利用电子产业的兴起促进了太阳能发电高纯多晶硅生产技术的发展，多晶硅的生产技术主要是根据所选用的还原气体及还原所采用的方法来区分的。

更新时间：2015-6-23 8:53:05
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