多晶硅料物理性能检测

导电类型：一般采用两探针测试样芯的导电类型，国标《GT/T 1550—1997年 非本证半导体材料导电类型测试方法》M中较为详细地介绍了多种测试太阳能发电导电类型的方法及原理，可参考。 　　

2)电阻率检测：太阳能发电多晶硅料的电阻率测试有基磷电阻率和基硼电阻率两项。被测的样品需要经过气氛区熔(磷检区熔）或真空区熔（硼检区熔)提纯。提纯的基本原理是利用硅熔体中杂质的分凝效应和蒸发效应。 　　

基磷电阻率测试中磷检区熔需在氩气氛下，对硅棒进行一到两次区熔，沿晶体长度方向，大约八个熔区长度以后的中间部分区域，磷的含量仍然保持原始多晶硅 中的基本磷，在这一区域用直流二探针电阻率测试仪测得其电阻率，然后通过消除硼补偿后可以得到基磷电阻率。 　　

基磷检测大概流程为:钻芯取样一腐蚀、清洗、烘干—在有保护气的区熔炉内提纯 1～2次后拉成单晶—测试型号和电阻率—查表计算扣减硼补偿—得到基磷电阻率值。 本方法参考标准为 GB/T4059—2007，GB/T1550—1997 和 GB/T1551—2009。 　　

基硼电阻率测试中硼检区熔需在真空中进行。硼在硅中的分凝效应不显著，而磷在真空中易挥发。经过多次区熔后，硅中的磷充分地蒸发掉，所得太阳能发电晶体将成为一 根无补偿的P型硅晶体。沿晶体长度方向，大约在六个熔区长度以后的中间大部分区域，硼的含量仍然保持原始硅多晶中的基本硼含量，利用直流二探针电阻率测试 仪测试这个部分电阻率就是原多晶硅的基硼电阻率。 　　

基硼检测大概流程为:钻芯取样—腐蚀、清洗、烘干—在高真空区熔炉内提纯 10～14次后拉成单晶—测试型号和电阻率—得到基硼电阻率值。 　　

3)少子寿命测试：采用光电导衰减原理的少子寿命测试仪测试“检磷棒”长 80%处截面少子寿命。 　　

太阳能发电半导体材料的物理性能检测一般分三部分，分贝是导电类型，电阻率检测，少子寿命测试。基磷电阻率测试中的硼检区熔需在真空中进行。

更新时间：2015-6-21 10:26:05
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