太阳能级多晶硅的检测

　　　太阳能级多晶硅料的检测一般围绕其外观、物理性能和杂质含量这几个方面开展。外观检测主要是判断硅料表面状况；物理性能检测包括导电类型、电阻率测试和少子寿命测试；杂质含量检测主要测试施主杂质浓度，受主杂质浓度，替位碳、间隙氧以及金属杂质的含量。

　　现以应用较为广泛的西门子法生产的太阳能发电多晶硅料为例，简单介绍相应的检测项目及方法，更为详尽的介绍可参考文献。

　　取样：用硅料套料机在距离多晶硅棒底部不低于50 mm,距离表面不低于5 mm 的生长层，取长180 mm左右，直径为15～20 mm的样芯3～4根，以满足以下个别检测项目制样需要。

　   外观检测

　　太阳能发电多晶硅料的外观检测主要是目测，主要包括三个方面：

　　(1) 硅棒表面的致密程度。一般要求硅棒表面结晶致密，最好不要有大的包块或明显的凹凸不平，最有代表性的是被业内称为“菜花料”的硅料。因为表面过于粗糙，在沟槽处容易藏匿杂质，不易被清洗去除。

　　(2) 硅棒的色泽。在正常情况下，高纯多晶硅料是呈银灰色、有金属光泽的，无论是表面还是内部如出现其他色泽，都说明受到了玷污。

　　(3) 硅棒断面的夹层。正常生长的多晶硅的断面是从中心向外散射的结晶状的，如果在断面上出现一个或几个同心圆分布状，则说明有夹层。

　　夹层分为两类：

　　①氧化夹层（oxide lamella)：呈同心圆状结构的氧化硅夹杂；

　　②温度夹层 (temperature lamella)：由于温度起伏，在多晶硅的横断面上引起结晶致密度、晶粒 大小或颜色的差异，使晶粒呈现出以硅芯为中心的年轮状结构。

　　通过太阳能发电硅料断面在一 定比例的沸腾混酸浸泡一段时间，清洗后观察表面;氧化夹层一般为腐蚀圈呈凹下去的夹层；温度夹层为腐蚀圈平坦、带有颜色差异的夹层。

　　太阳能级多级硅的检测一般围绕外观、物理性能及杂质含量。先进行取样，然后进行外观检测，检测是检查表面的致密程度，色泽，断面的夹层。两种夹层分类，两种不同的检测方法。

更新时间：2015-6-20 10:14:22
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